#工業(yè)型蠕動泵
WG600S
參考流量：0.4～13.2L /min
WG600S工業(yè)調速型蠕動泵，適用于工業(yè)場所大流量傳輸液體。直流無刷電機驅動，免維護，動力更強勁；具有啟停、正反轉、全速、調速、狀態(tài)記憶等基本功能；可級聯(lián)雙泵頭。RS485通訊，兼容Modbus協(xié)議，更易于與其他控制設備如計算機、人機界面、PLC等連接。
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蠕動泵的應用十分廣泛，如果你認為只有在和流體相關的行業(yè)使用蠕動泵產品那就大錯特錯了，下面小編為大家詳細講解泵在半導體行業(yè)的應用。
半導體制造要求始終控制工藝工具中的液體流動，苛刻的應用之一是化學機械平坦化（CMP）。當CMP工具不能將一致的漿料速率分配到拋光基材上時，它會對產量，化學品使用和材料完整性產生極大的負面影響。晶圓厚度的變化，缺陷密度的增加，工具停機時間和晶圓廢料的增加只是流程控制不良可能導致的一些問題。
蠕動泵非常適合半導體行業(yè)的高純度和腐蝕性化學環(huán)境，對于CMP，提供了在拋光過程中的使用點漿料流分配到晶片所需的線性和可重復性，低剪切力對CMP漿料溫和，其變速操作允許在很寬的操作范圍內控制流量，以保持過程的完整性。
漿料的性能可實現(xiàn)的晶圓平面度，微型蠕動泵通過控制漿料輸送和分配，有助于實現(xiàn)這一目標。小流量蠕動泵的非侵入式設計提供了直的流動路徑，沒有死流區(qū)域，使?jié){料凝聚，硬化并污染過程。流速達到±0.5％。提供的穩(wěn)定的流體輸送不僅可確保漿料不斷流向拋光墊，還可減少漿料，化學品和去離子水的浪費。
使用注意事項
1、使用壓管的時候，注意不要把軟管壓的太死，以免造成軟管的過度磨損。
2、泵管進口盡量短，蠕動泵管接頭及直徑不得小于被蠕動泵頭卡住的管道直徑
3、恒流泵在使用過程中，要及時產看管路的磨損情況，要及時更換，以免造成液體的泄露。
4、注意工作環(huán)境，是在常溫還是有腐蝕的環(huán)境，泵殼的材質要及時變換。
